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無接觸式測(cè)量 厚度 電阻率 TTV Bow\彎曲度 Warp\翹曲度 型號(hào)

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無接觸式 厚度 電阻率 手動(dòng)
硅片要求 規(guī)格: 方片125125mm 、156156mm 圓片 3、4、5、6、8測(cè)量功能厚度:?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)厚度 TTV:總厚度偏差 體電阻率:?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)電阻
2013-01-30
無接觸式 厚度 TTV Warp\翹曲度 Bow\彎曲度
能夠測(cè)量Si,藍(lán)寶石,GaAs,InP,Ge等材料硅片要求規(guī)格: 晶圓2、 3、4、5、6、8測(cè)量功能 厚度:?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)厚度 TTV:總厚度偏差 Warp:翹曲度Bo
2013-01-30
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無接觸式測(cè)量 厚度 電阻率 TTV Bow\彎曲度 Warp\翹曲度 型號(hào)

 

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